無油真空泵的（de）選擇介紹

2019-05-22 關注次數：

無油真空泵的選擇介紹：

1.無油真空泵（bèng）的工作壓強應該滿足真空設備的Ji限真空（kōng）及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度（dù）Zhi少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要（yào）高於真（zhēn）空設備真空度半個到一個數量級。

2.正確地選（xuǎn）擇無油真空泵（bèng）的工作點。每種泵（bèng）都有一定的工（gōng）作壓強範圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強範圍（wéi）內（nèi），泵的抽速（sù）隨壓強而變化，其穩定的工（gōng）作壓強範圍（wéi）為5×10-4~5×10-6mmHg。因而（ér），泵的工作點應該選在這個（gè）範（fàn）圍（wéi）之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵（bèng）可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小於1×10-5mmHg為好。

3.無油真空泵在其工作（zuò）壓強下，應能排走真空（kōng）設備工藝（yì）過程中產生的（de）全（quán）部氣體（tǐ）量。

相（xiàng）關文章