渦旋無油真空泵技術現狀與發展趨勢

1、引言

　　渦旋無油真空泵的概念相當久遠，20世紀初世界（jiè）上就已經有了渦旋技術的專Li。但由於當時技術水平的限製（zhì），渦旋無油真空泵機構製造不出來，渦旋的（de）概（gài）念也就被淡忘了。1973年渦旋（xuán）機構被重新提起並製（zhì）造出第Yi台模型機構，使（shǐ）這項（xiàng）技術實（shí）際應用（yòng）成為可能（néng）。渦旋機構的可靠性高、運行平穩、噪音極低、節省能源等潛力和巨大優勢（shì）馬上引起了冰箱行業的重視和迫切需求，大受行業Lin先者青睞，迅速被投入工業化應用。Trance、Hitachi、Copland等著名公（gōng）司的渦旋壓縮機技術與產品弓領了（le）世界渦旋技術實用化的浪潮，帶動了如冰箱、空調等諸多行業的（de）技術進步（bù）和產品的更新換代。

　　今天渦旋（xuán）技術已經由初期的應用在壓縮機行（háng）業推廣到真空泵製造業，實現了全無（wú）油真（zhēn）空（kōng）泵、運（yùn）行更平穩、噪（zào）音更低、更（gèng）加節（jiē）省（shěng）能源的渦旋清潔真空獲得技術的實用化。人們應用（yòng）渦旋概（gài）念與原理製造（zào）出了對真（zhēn）空應用儀器設備和環境沒有汙染，並且抽速、壽命、能耗等指標均優於普（pǔ）通油泵的單（dān）級、雙級（jí）渦旋無油真空泵係列產品。

　　上個世紀90年代初，世界上Shou台渦旋真空泵推（tuī）向市場，渦旋技術由此開始作（zuò）為一種新型真空獲得技術在世界範圍內被推廣應用。到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產（chǎn）廠家集中在美國、日本和歐洲，以日本的Anest1wata、美（měi）國的Varian、德國的Bush等為代表。產品包括了自0.25L／S-1OL／S係列產品，有些（xiē）15L／S或更大抽氣量的產品也在試驗階段。

　　2、渦（wō）旋無（wú）油真空泵(0-Ifreescrollvacuumpump)的（de）特（tè）點與應用領域（yù）

　　清（qīng）潔的真（zhēn）空環境一直是科學家（jiā）和企業界追求的理想真空環境。自能夠創（chuàng）造真空（kōng）環（huán）境開始，人們就試圖（tú）采用不同手段（duàn）達到清潔真空（kōng）的效果。時Zhi今日，清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、柱賽泵、爪式（shì）泵、渦旋泵（bèng）以及隔（gé）膜泵等多種產（chǎn）品。在現有的無（wú）油（yóu）真空泵當中，渦旋無油真空泵與其他種類的無油真（zhēn）空泵相比具（jù）有運行平穩、噪音低、節省能源、重量輕、體（tǐ）積小（xiǎo）的（de）特點並（bìng）已經被廣泛應用（yòng）到下述科學研究與生產領域：①半導體行業——薄膜製備設（shè）備（bèi）、半導體器件封裝設備；②真空冶金行業——真空爐、納米材料（liào）製備設備、真空檢測設（shè）備；③科學儀器行業——同步輻射光束線（xiàn）、電子顯微（wēi）鏡、分析測試儀器；④醫Liao設備（bèi）——牙科儀器、透析機；⑤生物製品行業——材料提純、藥品製備；⑥包裝行業——食品、藥品、生（shēng）物製品等包裝設備。

　　3、渦旋無油真空泵工作原理、技術指標以及與普通油泵的對比

　　渦旋無油（yóu）真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平麵相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀（zhuàng）結構。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構成了（le）渦旋無（wú）油真空的（de）基本抽氣機構。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個（gè）方向對應的固（gù）定渦旋盤，一個位於兩個渦旋盤之間的（de）轉動渦旋盤（pán）。無油真空泵動、靜渦旋盤相對運（yùn）動形（xíng）成容積不斷變化的新月形真空腔使（shǐ）氣（qì）體從抽氣口吸入、排氣口（kǒu）排出、完成排氣循環。